欧博allbet中国工程院院士任其龙:潜心技术创新 推动我国电子特气行业迈向自立自强

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发布时间:2024-05-23 05:22

  上证报中国证券网讯 近日,欧博allbet中国工程院院士、浙江大学衢州研究院院长任其龙接受了上海证券报记者的独家专访。记者见到任其龙时,他正在研究院开会。这位科学家戴着一副银框眼镜,两鬓已有白发,谈到激动处肢体语言也丰富起来。

  会议开到中午,大家边吃饭边讨论工作。这样繁忙的日程是任其龙工作日的常态。在他的带领下,团队开足马力,高效率完成多个技术突破。

  今年4月底问世的等离子体再造乙炔新技术,便是团队实现的众多突破之一。乙炔不仅享有“有机化工之母”的美誉,更可作为电子特气之一应用于芯片制造等前沿领域,而电子特气被誉为工业气体“皇冠上的明珠”。任其龙带领团队取得乙炔制备技术新突破,正是我国科研人实现技术攻关、推动电子特气行业走向自立自强的一个缩影。

  技术团队曾面临转型阵痛

  新技术问世的背后,是一个谨慎的开始,和上千个日日夜夜的坚持。作为团队的灵魂人物,任其龙对科研的严谨与坚持为研究工作定下了主基调。

  “经过谨慎评估后,若这项技术值得干,困难也并非不可逾越,就去干!相反,经过评估后若发现课题存在很大问题,一开始就不应该‘踩进去’。”他说。

  确立研究目标后,团队走上了技术攻关之路。技术研发过程中团队几度受挫,其中一项难题便是科学家调整思路、转型创业者。任其龙的学生、团队的骨干成员张铭回忆,科研工作者追求极致,市场追求性价比,二者之间存在一定的矛盾。

  衢州晶洲科技发展有限公司便是任其龙团队技术孵化的企业之一,这家成立于2020年的公司是研发应用等离子体制备乙炔新技术的商业化实体。公司成立之初遇到的问题是,纳米硅产品臻于精致,而下游客户却表示成本过高,成交意愿减弱。

  2022年,团队调整思路,逐步将产品调整至更符合现阶段市场实际需求的高性价比方向。如今公司的商业化运作正趋于成熟。张铭表示,公司目前已就等离子体制备乙炔新技术与衢州当地龙头企业巨化集团、杭氧特气等达成合作意向,2024年公司或迎来技术和产品的爆发期。

  困难逐步得到解决,公司走上正轨。公司一路走来的成长史正印证了任其龙那句自我剖白:“不到万不得已绝不放弃。”

  为好技术找到新市场

  好的技术也需找到合适的应用场景,用得其所。

  等离子团队研究员杨启炜表示,团队在新技术推广期遇到难题,下游大宗化学品企业已拥有规模庞大的电石制备乙炔设备,更换成本高,换新意愿低。研究团队也因此进入超过1年的瓶颈期。

  绝处能逢生,后来团队为新技术找到了电子特气领域这个新应用场景。电子特气是工业气体的细分领域,被誉为工业气体“皇冠上的明珠”,四氟化碳、八氟环丁烷等气体在集成电路、先进制造领域中发挥重要作用。

  该领域乙炔用量不高,一套小型等离子体制备乙炔装置就能满足其制备需求,为技术的使用推广打开新局面,也让团队悬着的心也终于放下。

  技术的研发与营销过程中,今年65岁的任其龙在许多事上都亲力亲为,有着与年龄并不相称的充沛精力。

  “我小时候生长在农村,工作比不上农活累吧?体力活儿我是一点都不怕的。” 任其龙笑着说,“更何况,做自己热爱的工作,怎么会觉得累呢?”

  他将一腔热忱投入到了化工领域。提起化工,他神采奕奕,不时发出爽朗的笑声。他描绘的化工世界是神奇的、不可或缺的。衣食住行,样样不离化工。眼镜镜片、镜框、衣服纤维、农药、化肥等都与化工息息相关。化工的神奇之处在于,能够通过化学反应生成新物质,也可以用物理反应改变形貌、性能。

  推动国内电子特气行业迈向自立自强

  在团队的努力下,等离子体制备乙炔新技术找到了合适的应用场景和开花结果的土壤。乙炔制备新技术的进步,是我国电子特气迈向自立自强的重要一步。

  带着一腔热爱投身化工领域的任其龙,也在用实际行动推动电子特气行业的发展。由他掌舵的浙江大学衢州研究院已在特种气体领域展开技术布局和应用合作。

  在杨启炜看来,电子特气产业前景广阔。作为芯片刻蚀、沉积等环节的必备材料,电子特气的需求随着集成电路产业发展水涨船高。

  不过,在生产集成电路所需的特种气体当中,国产率只有20%。任其龙介绍,乌克兰曾是我国高纯氖气的主要进口国,俄乌冲突爆发后这项进口受到影响。

  “我国电子特气行业走向自立自强需要经历一个阶段。”任其龙说,近几年我国电子特气乃至整个电子化学品行业的发展都很快,以电子级氢氟酸为代表的一些产品已打开出口市场。

  任其龙表示,国内电子气体行业还需从技术层面加以突破。气体终端净化器的核心材料,如净化用的催化剂、吸附剂、膜材料等仍有改进空间。在设备方面,与高纯气体接触的各种器材必须满足洁净的标准,否则释放出来微量的杂质将污染电子气体。此外,生产用的容器、管道、阀门等也亟需自主研究开发。

  在检测技术上,我国在超痕微量杂质、高精度分析检测技术以及一些专用的仪器方面,与国际先进技术相比仍有差距。

  技术终将取得突破,电子特气行业也将逐步走向自立自强。窗外,浙江大学衢州研究院校园已是绿意盎然,以任其龙为代表的科研工作者正在星夜兼程,赶一条追新逐绿、自主创新之路。(霍星羽)

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